HONDA本多石英振動式超聲波清洗機W-357-1MQB-SKC的使用和介紹

石英振動超聲波清洗機首次使用將超聲波疊加到石英振動體進行半導體精密儀器清潔，可以減少化學藥品的使用，滿足低損傷清洗，大面積清洗、斜面端的清洗等。

清洗損壞程度低的細分圖案晶片

■通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗半導體晶片

通過將化學溶液浸入半導體晶片中并通過石英玻璃傳播超聲波振動，接觸部分處的化學溶液振動，并且加速作用去除了表面上的污垢。

■實現清潔清洗，對半導體晶片的損壞很小

與使用諸如包裝之類的橡膠材料的設備相比，通過使用化學溶液將石英用于潤濕部件，可以實現清潔清潔，而不會洗脫或磨損橡膠。

■由于具有振動器冷卻功能，因此與標準產品相比，最大輸出增加了2.4倍。

通過用氣體（氮氣等）冷卻振動器，可以實現穩定的連續運行而不會出現頻率波動。
此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，并且可以延長使用壽命。

采用

去除殘留物
磨邊后，灰化后去除聚合物
柵電極清潔
CMP后的清潔

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石英振動式超聲波清洗機W-357-1MQB-SKC