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ekasuga真空兼容靜電電位傳感器KS-3101
產(chǎn)品型號(hào)：KS-3101
產(chǎn)品品牌：日本春日機(jī)電
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
由于減少靜電的氣體成分在真空中很稀薄，靜電引起的生產(chǎn)問題比常壓環(huán)境下更嚴(yán)重，真空兼容靜電勢(shì)傳感器使用可承受在真空環(huán)境中使用的材料和組件，可用于測(cè)量真空中產(chǎn)生的靜電。用它來確定真空過程中產(chǎn)生靜電的原因，并持續(xù)監(jiān)測(cè)靜電勢(shì)。
ekasuga真空兼容靜電電位傳感器KS-3101
大氣壓和真空下的線性度
該圖顯示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意電壓測(cè)量帶電板的電位的結(jié)果。即使在不同的壓力環(huán)境下（真空下10-3Pa，大氣壓下10+5Pa），無需校準(zhǔn)也能得到相等的測(cè)量值。
*此數(shù)據(jù)為實(shí)測(cè)值，并非保證值。
使用真空兼容靜電勢(shì)傳感器測(cè)量對(duì)真空室的影響
脫氣分析比較
對(duì)傳感器放出的氣體的分析證實(shí)，氣體的主要成分是水和微量碳?xì)浠衔铩?/span>由于每個(gè)峰值與背景中測(cè)量的峰值相同，因此認(rèn)為它源自環(huán)境中吸附在傳感器表面上的氣體。
●極限真空的比較
排氣系統(tǒng)：渦輪分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造
排氣速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
*此數(shù)據(jù)為實(shí)測(cè)值，并非保證值。
規(guī)格
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 檢測(cè)方法 | 振動(dòng)表面電位傳感器 |
| 推薦真空度 | 10 5 Pa（大氣壓力）、10 -1至10 -5 Pa |
| 測(cè)量范圍 | HIGH量程：0～±20.0kV（測(cè)量距離100mm） LOW量程：0～±2000V（測(cè)量距離10mm） |
| 測(cè)量精度 | ±10%以內(nèi) |
| 警報(bào) | 檢測(cè)傳感器故障LED顯示 |
| 使用環(huán)境 | 溫度0-40℃，濕度65%以下（無結(jié)露） |
| 大量的 | 約 130g（不包括電纜和控制盒） |
| 配置要領(lǐng) | 真空電纜：KS-3101-C01（電纜長(zhǎng)度1m，可延長(zhǎng)） 控制箱：KS-3101-B05（帶大氣側(cè)電纜5M，可延長(zhǎng)） 控制器：KSD-0110 或 KSD-0120 |
*真空法蘭需客戶自備。
作品
控制器
支持觸摸屏和SD卡的高性能型
強(qiáng)調(diào)可見性的簡(jiǎn)單類型
*請(qǐng)?jiān)诟髯缘捻撁嫔喜榭纯刂破?KSD-0110 和 KSD-0120 的規(guī)格。
各部分尺寸/名稱
（1）測(cè)量單元（
2）調(diào)零單元（
3）外殼（不銹鋼鏡面）（
4）安裝墊片（鐵氟龍）（5）
量程選擇開關(guān)（
6）運(yùn)行/故障指示燈
（7）充電指示燈(0, +, -) (
8) 專用電纜（帶連接器）