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日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科ULVAC螺桿式干式真空泵MS120A
產(chǎn)品型號(hào)：MS120A
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵，在傳統(tǒng)LS系列
的基礎(chǔ)上，作為耐腐蝕型，提升了耐粉塵排氣性能，是針對(duì)使用腐蝕性氣體和粉塵排氣工藝而設(shè)計(jì)的機(jī)型。
特征
對(duì)轉(zhuǎn)子軸、氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，提高耐腐蝕性能
采用ULVAC獨(dú)特設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能排粉
實(shí)現(xiàn)接近大氣壓的連續(xù)抽氣
應(yīng)用
半導(dǎo)體和電子設(shè)備制造設(shè)備的真空系統(tǒng)，用于
蝕刻、灰化、等離子清洗等。
燒結(jié)、滲碳等爐的真空系統(tǒng)。鋰離子電池制造設(shè)備的真空系統(tǒng)電極干燥、脫氣、真空注射等。醫(yī)療和食品用真空系統(tǒng)冷凍干燥、真空干燥等。
日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科ULVAC螺桿式干式真空泵MS120A
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 抽氣速度*1 | 立方米/小時(shí) | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源 | 200V級(jí)：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級(jí)：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體流量*1 | 空間光調(diào)制器 | 0~50 | ||
| 耐水蒸氣性*1*3 | 公斤/小時(shí) | 1.5 | ||
| 噪音 *2 | 分貝(聲級(jí)) | 61 | 62 | 64 |
| 進(jìn)氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 出水口 | KF40 | |||
| 重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 快速手冊(cè)、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護(hù)罩、消音器 | |||
| 泵頭選項(xiàng) | 電源：200V級(jí)或400V級(jí) 密封材質(zhì)：FKM或FFKM | |||
| 外部選項(xiàng) | 包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元（入口、遠(yuǎn)程）、吹掃氣閥 | |||
*1：參考值
*2：極限壓力（僅供參考）
*3：水蒸氣耐受量為使用吹掃氣體時(shí)的值。
*4：包括消音器