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日本ulvac進口多級羅茨干式真空泵UR421-T
產品型號：UR421-T
產品品牌：日本愛發科ulvac
產品簡介：
均勻高溫分布泵
HR 系列泵設計用于保持均勻高溫，適用于需要加熱泵、加熱氣管線和/或加熱排氣管線的應用
UR 系列泵能夠保持比 HR 系列更高的溫度。
卓越的氦氣泵送能力，
封閉式電機，安全且易于維護。
電源故障保護
泵可承受長達 1000 毫秒的電源中斷。
卓越的耐腐蝕性
內部組件經過特殊處理，具有高表面硬度和耐腐蝕性。這可防止泵內部零件在暴露于腐蝕性氣體時發生磨損和腐蝕。
通訊功能
可以導出包括警告和警報在內的泵數據。可進行廣泛的泵控制。
日本ulvac進口多級羅茨干式真空泵UR421-T
| 模型 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 泵 | 決策支持系統 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 骨髓移植 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
抽 速 | 50赫茲 | 410 立方米/小時 （6833 升/分鐘） | 653 立方米/小時 （10883 升/分鐘） | 1012 立方米/小時 (16867 升/分鐘) | 1701 立方米/小時 （28350 升/分鐘） | 2700 立方米/小時 （45000 升/分鐘） | |||
| 極限壓力 | 5.0帕 | ||||||||
| 入口壓力 | 大氣壓*1 | ||||||||
| 排氣壓力 | 1.0至大氣壓Pa | ||||||||
| 入口直徑（CE型） | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 出口直徑 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 重量 | 415公斤 | 370公斤 | 403公斤 | 553公斤 | 720 公斤 | ||||
| 力量 | 三相 | 180～240VAC/ 380～440VAC （50/60赫茲） | 200 VAC（50/60 赫茲）/220 VAC（60 赫茲） | 180～240VAC/ 380～440VAC （50/60赫茲） | |||||
| 當前的 | 在極限壓力下 | 23 A（200V 時） | 16.4A（200V 時） | 18.9 A（200 V 時） | 29.2 安培（200 伏時） 20.5 安培（400 伏時） | 39.8 A（200V 時） 20.5 A（400V 時） | |||
負載時 | 52.5A（200V 時） | 17.3 A（200V 時） | 22.4 A（200 V 時） | 34.9 安培（200 伏時） 40.5 安培（400 伏時） | 68.3 安培（200 伏時） 40.5 安培（400 伏時） | ||||
| 冷卻水 供給壓力 | 0.2~0.5兆帕 | 0.1~0.3兆帕 | 0.2~0.5兆帕 | ||||||
| 冷卻水進/ 出壓差 | >0.2兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.2兆帕 | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 升/分鐘 | ||||||||
| 氮氣 | 供給 壓力 | 0.1~0.5兆帕 | |||||||
壓力調節 | 0.05~0.1MPa | ||||||||
| N2 吹掃 | 軸吹掃 | 5 級 | |||||||
| 氣鎮流器 | 0~195 秒 | 0~45秒 | 0~195 秒 | 0~195 秒 | |||||
*1：UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT 均應在 200Pa (1.5 Torr) 以下運行。
* 如果您需要此規格列表中未列出的 UR 系列，請與我們聯系。
■操作方式
| 干泵運行模式 | 1 | 2 | 3 | |||||
| N2流量 | 空間光調制器 | 0 | 5 | 5~50 *1 | ||||
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