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日本進(jìn)口ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列
產(chǎn)品型號(hào)：UTM-MS
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
這是帶有使用磁力軸承的獨(dú)立控制器的渦輪分子泵。我們擁有一系列抽速為 300 至 4000L/s 的型號(hào)。控制器部分可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)。特征泵體和控制器是分開的，控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)。自由安裝方向由于安裝方向沒(méi)有限制，因此設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度增加。產(chǎn)品陣容包括抽速 300L/s 至 4000L/s泵轉(zhuǎn)速可在25%至100%范圍內(nèi)變化，腔室壓力可調(diào)節(jié)。高耐用性和安全性通過(guò)了各種安全確認(rèn)測(cè)試，包括大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。目的各種設(shè)備的真空主排氣系統(tǒng)半導(dǎo)體制造設(shè)備氣相沉積設(shè)備濺射設(shè)備分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等研發(fā)設(shè)備不產(chǎn)生副反應(yīng)產(chǎn)物的輕工藝主排氣系統(tǒng)其他一般高真空排氣應(yīng)用
日本進(jìn)口ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進(jìn)氣口 | VG100/ICF152 | VG150/ICF203 | VG200/ICF253 | |||||||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 排氣速度*2 | 氮?dú)?/span> | 升/秒 | 320 | 第420章 | 800 | 1080 | ||||
| 氬氣 | 升/秒 | - | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 第790章 | |||||
| 壓縮率 | 氮?dú)?/span> | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| 氫2 | 1×10 4 | 4× 103 | ||||||||
| 入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 排氣口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 第665章 | 40 | 第665章 | 40 | |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 5分鐘內(nèi) | |||||||||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - |
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | |
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦輔助泵 | 200L/分鐘以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 單獨(dú)放置 | ||||||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 所需功率 | 千伏安 | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 變速功能 | 運(yùn)行速度可在泵速度的 25% 至 之間變化（以 0.1% 增量設(shè)置） | |||||||||
| 外部控制 | 接點(diǎn)輸入/輸出 | |||||||||
| RS-232C/RS-485 | ||||||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示順序。
*2：不含保護(hù)網(wǎng)的值。
*3：進(jìn)氣口壓力和排氣口壓力條件不能同時(shí)滿足。
表2
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進(jìn)氣口 | VG200/ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排氣口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 排氣速度*2 | 氮?dú)?/span> | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 氬氣 | 升/秒 | - | 2000年 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | - | |
| 氫2 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | 氮?dú)?/span> | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1×10 4 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3×10 4 | |||
| 氫2 | 1×10 3 | 3×10 3 | 6× 103 | 2×10 3 | |||
| 入口壓力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 排氣口壓力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 轉(zhuǎn)速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 7分鐘內(nèi) | 11分鐘內(nèi) | 12分鐘內(nèi) | 18分鐘內(nèi) | |||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | 2～4 | |||
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 大量的 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦輔助泵 | 600L/min以上 | 1300L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
| 控制器 | 作品 | 單獨(dú)放置 | |||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 所需功率 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 變速功能 | 運(yùn)行速度可在泵速度的 25% 至 之間變化（以 0.1% 增量設(shè)置） | ||||||
| 外部控制 | 接點(diǎn)輸入/輸出 | ||||||
| RS-232C/RS-485 | |||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | |||||