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ulvac日本進(jìn)口低溫泵 CRYO-U 系列 低溫-U4H
產(chǎn)品型號(hào)：U4H
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： CRYO-U系列是使用2級(jí)GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。

ulvac日本進(jìn)口低溫泵 CRYO-U 系列 低溫-U4H

抽速20℃)氮升/秒450
氫500
氬氣370
水1,100
極限壓力帕10 -7
流速氬氣帕?升/秒1.3× 103
泵送能力氬氣朋友1.0×10 7
氫1.5×10 5
冷卻時(shí)間小(50/60Hz)45/50
重量公斤14.5


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