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ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 低溫U8H-U
產(chǎn)品型號：U8H-U
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征 可與 CTI 的 CT-8 互換。 高氫氣泵送能力。 多臺操作（最多 3 臺） 超高真空（10-8 Pa或更低）

ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 低溫U8H-U

抽速(20°)氮升/秒1,700
氫2,700
氬氣1,400
水4,000
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
吞吐量氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.2×10 3 (8.9)
氫2.4×10 2 (1.8)
泵送能力氬氣帕?升(托?升)1.0×10 8（7.6×10 5）
氫1.0×10 6 (7.6×10 3 )
冷卻時間小值(Hz)100/90(50/60)
安裝法蘭UVG-200,6 B ANSI,UFC-253
壓縮機組C10T,C10AT
低溫泵重量公斤20.8

*維護間隔：每16,000小時


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