日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號:CRYO-U12HSP
產(chǎn)品品牌:日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介:
CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵,可進行高真空排??氣。
根據(jù)FPD、半導體、電子設備、光學、研發(fā)等用途,有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。
特征
氬氣的抽真空能力約為標準型號(U12H)的兩倍。
氫氣排氣量約為標準型號(U12H)的1.5倍。
播放間隔變得更長,有助于提高設備的可用性。