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日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P
產(chǎn)品型號：CRYO-U20P
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征 適用于大型沉積系統(tǒng)和其他生產(chǎn)設(shè)備。 適用于批量型大型沉積系統(tǒng)。

日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P

抽速(20℃)氮升/秒10,000
氫18,000
氬氣8,400
水29,000
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.1×10 3 (8.7)
氫5.0×10 2 (3.7)
泵送能力氬氣帕?升(托?升)5.8×10 8 (4.4×10 6 )
氫4.6×106 （ 3.4× 104）
冷卻時間
（電源循環(huán)）		小值(Hz)180/160(50/60)
安裝法蘭UVG-500
壓縮機組C30VRT
重量公斤69.0


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