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日本ulvac進口低溫泵 CRYO-U系列 冷凍U22H 超真空冷凍機
產(chǎn)品型號：U22H
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
ULVAC Cryo已應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽能、核聚變、太空開發(fā)等眾多領(lǐng)域，并積累了良好的業(yè)績記錄。
特征
大型薄膜沉積設(shè)備的理想選擇。
水的最大抽速。
日本ulvac進口低溫泵 CRYO-U系列 冷凍U22H 超真空冷凍機
規(guī)格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 17,000 |
| 氫 | 25,000 | ||
| 氬氣 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 極限壓力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氬氣 | Pa·L/s(托·L/s) | 4.1×10 3 (31) |
| 氫 | 1.3×103 （ 9.6） | ||
| 排氣量 | 氬氣 | 帕·L(托·L) | 8.1×10 8 (6.1×10 6 ) |
| 氫 | 8.5×10 6 (6.4×10 4 ) | ||
| 冷卻時間 （電源循環(huán)） | 小(赫茲) | 150/135(50/60) | |
| 進氣法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機組 | C30VRT×2 | ||
| 大量的 | 公斤 | 125.0 | |
*維護間隔：16,000小時
U22H和U30H
根據(jù)外匯和對外貿(mào)易管理法被歸類為戰(zhàn)略物品和其他出口管制產(chǎn)品。
將產(chǎn)品帶出日本時，
請辦理向日本政府申請出口許可等必要手續(xù)。
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