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日本ulvac進口低溫泵 CRYO-U系列 冷凍U30H 超真空冷凍機
產品型號：U30H
產品品牌：日本愛發科ulvac
產品簡介：
ULVAC Cryo已應用于電子、光學、太陽能、核聚變、太空開發等眾多領域，并積累了良好的業績記錄。特征非常適合大型薄膜沉積設備、空間室等。、水的最大抽速。
日本ulvac進口低溫泵 CRYO-U系列 冷凍U30H 超真空冷凍機
規格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 28,000 |
| 氫 | 43,000 | ||
| 氬氣 | 23,000 | ||
| 水 | 70,000 | ||
| 極限壓力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氬氣 | Pa·L/s(托·L/s) | 2.7×10 3 (20) |
| 氫 | 7.4×10 2 (5.6) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | 帕·L(托·L) | 7.8×10 8 (5.9×10 6 ) |
| 氫 | 1.5×10 7 (1.1×10 5 ) | ||
| 冷卻時間 （電源循環） | 小(赫茲) | 240/200(50/60) | |
| 進氣法蘭 | VG-750 | ||
| 壓縮機組 | C30VRT×2 | ||
| 大量的 | 公斤 | 175.0 | |
*維護間隔：16,000小時
U22H和U30H根據外匯和對外貿易管理法被歸類為戰略物品和其他出口管制產品。
將產品帶出日本時，請辦理向日本政府申請出口許可等必要手續。
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